1. 管理氣體、化學品的供應、廢液的排放與抽取，做好品質的控管與維持穩定的供應。 2. 每日巡檢各廠務運轉設備：半導體無塵室、電力監控、半導體特氣監控、純水控制等，保持正常運轉，並記錄其狀態。 3. 日常及預防保養科目進行。 4. 具半導體或光電廠廠房工程經驗者佳。